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铝合金退火炉的两种热源的介绍以及选择

发布时间:2019-2-26 15:24:48    来源:www.jsdanli.com.cn    作者:丹阳市电炉厂有限公司
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铝合金退火炉的热源之一:灯光加热
这样的加热方式是由上下两个专用的灯管组或者是单面灯泡构成加热源,加热灯形状以及数目因厂家和被处理的工件尺寸而定,硅片位于双面加热灯中间或者是单面灯的下方进行快速加热。因为这样的装置是线状或者是点状光源构成的面光源,为了达到均匀的加热效果,对每个灯管的一致性要求很高。
铝合金退火炉的两种热源的介绍以及选择
铝合金退火炉的热源之二:高频感应加热
在石英腔体外缠绕线圈,在石英腔体里面放置平行的石墨加热板。当向线圈里面通入高频电压的时候,在线圈的周边就会产品高频的电磁场,而位于高频交变电磁场里面的石墨板受到感应后发热就会成为热源,由此对腔体里面的硅片进行热处理退火。总的来说,这种方式虽然制作以及维护成本比较低,但是因为石墨板在感应时候的热迟滞性,以及停止加热时候的热惯性,会让温度控制响应速度变慢,温度控制精度在技术上面很难得到保证,并且高频电磁辐射如果控制不当的话,会很容易对周围的环境造成电磁污染。
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